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产品名称: AEROLAS气浮轴承
产品型号:
产品时间: 2018-05-21
AeroLas 是技术上Z先进的空气静力轴承和空气驱动系统的代名词. AeroLas作为创新型的气浮轴承(空气静力轴承)和空气驱动系统的技术*而闻名的高科技公司,拥有开创性的定制解决方案

产品介绍

产品用途:
超精密二维测量平台
应用范围: 半导体技术
应用: 测量孔的通否/过光
行程: 340 mm x 330 mm
绝对定位精度: < 10 nm (全程范围内)
驱动方式: 磨擦轮驱动
zui大加速度: 0.25 m/s2
高动态直线电机
采用AeroLas的空气轴承可以使直线电机有极其高的精度和高动态特性:实际加速度达到400 m/s2 (理论上可达 1.000.000 m/s2). 
应用于齿轮测量,几年来已连续运行60亿次以上
行程: 100 mm
负载:2 kg
高加速度双轨式直线电机
截面:500 mm x 250 mm),加速度达300 m/s2且精密定位。 采用空气轴承,受温度变化影响小,电缆不动,行程: 150 mm
负载:10 kg
zui大加速度: > 300 m/s2
zui大速度: 4.7 m/s



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